【 记录编号 】 297483
【 记录类型 】 文摘
【 限制使用 】 国内
【项目年度编号】 0300800041
【 成果名称 】 FA/O高纯多功能界面活性剂
【 省 市 】 天津
【 分类号 】 TQ423.2
【 关键词 】 聚醚类 高纯多功能界面活性剂 非离子表面活性剂 半导体材料专用
【 成果简介 】
项目简介：该产品为聚醚类型的非离子表面活性剂，通过离子交换和高效膜过滤技术，提高了产品纯度，成为一种半导体材料专用的界面活性剂，用于半导体材料的润湿、解吸、均蚀、助溶、分散和清洗。该活性剂的使用，可使抛光片表面吸附物长期处于易清洗的物理吸附状态，并确立了控制工艺技术，解决目前抛光后必须在2～3小时内进行刷洗的工艺，可实现大量抛光片的集中正常清洗，提高材料表面光洁度。
【 成果类别 】 应用技术
