【 记录编号 】 200026
【 记录类型 】 文摘
【 限制使用 】 国内
【 成果名称 】 FA/o高纯多功能界面活性剂的研究及在微电子工业中应用
【 省 市 】 河北
【 分类号 】 TN301 TQ423.2
【 关键词 】 表面活性剂 微电子 非离子 界面活性剂 半导体器件 界面
【 成果简介 】
选用非离子界面活性剂,用于活性剂特有的润湿、有效降低溶液表面能力,使抛光液分布均匀,且及时使产物外扩散,达到反应镜面平整.通过将吸附物分散、解吸,转化为无害的易清洗的物理吸附.经检测主要参数K、Na、Ca、Fe、Cu、Au、Ni、Cr八种金属杂质含量低.国际首创.
【 成果密级 】 非密
