本发明描述了用于涂膜层显影的表面活性剂水溶液，它至少含有一种选自以下的表面活性剂：N－酰基肌氨酸盐、N－酰基－N－甲基丙氨酸盐、N－酰基牛磺酸盐、N－酰基－N－甲基牛磺酸盐、脂肪酸烷基醇酰胺以及脂肪酸烷基醇酰胺同聚氧化乙烯的加成物。这种水性表面活性剂溶液作为显影溶液，用于缩小抗蚀图案间距宽度的方法，该方法包括：在按照常规方法形成的抗蚀图案上形成水溶性树脂涂膜层，在抗蚀图案所释放的酸的作用下将涂膜层进行交联，然后使用显影溶液溶解并除去涂膜的未交联部分，从而将抗蚀图案加厚。
发布日期：2008-09-22 浏览次数：440
本发明描述了用于涂膜层显影的表面活性剂水溶液，它至少含有一种选自以下的表面活性剂：N－酰基肌氨酸盐、N－酰基－N－甲基丙氨酸盐、N－酰基牛磺酸盐、N－酰基－N－甲基牛磺酸盐、脂肪酸烷基醇酰胺以及脂肪酸烷基醇酰胺同聚氧化乙烯的加成物。这种水性表面活性剂溶液作为显影溶液，用于缩小抗蚀图案间距宽度的方法，该方法包括：在按照常规方法形成的抗蚀图案上形成水溶性树脂涂膜层，在抗蚀图案所释放的酸的作用下将涂膜层进行交联，然后使用显影溶液溶解并除去涂膜的未交联部分，从而将抗蚀图案加厚。
豫公网安备41010502006654号
