本发明公开了一种利用表面活性剂元素来获得高质量平整氧化锌极性表面的方法，即采用等离子体辅助分子束外延(P-MBE)设备，在单一极性ZnO薄膜的外延过程中，利用碱金属或是碱土金属在氧化锌表面的表面活性剂效应，通过改变氧化锌薄膜的岛状生长模式，实现表面的二维生长，从而获得有利于器件制作的平整氧化锌表面。该方法可有效解决目前极性氧化锌薄膜异质外延生长过程中因三维岛状模式生长而引起的表面粗糙问题，从而实现典型的二维生长，获得平整的极性氧化锌表面。本发明制备得到的ZnO薄膜具有原子级平滑的表面和良好的光学性能，适用于异质结、量子阱以及高性能光电子器件的制作。
