一种水性可感光成像组合物或光刻胶,它包括一种具有足够羧酸官能度的胶乳粘合剂聚合物以使其能在碱性溶液中显影,一种可光聚合的单体组分、一种光引发剂化学品体系以及一种氟代脂肪族的氧乙烯加合物的表面活性剂。
含有非离子氟代烃表面活性剂的水性光刻胶.pdf