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含噁唑衍生物的射线敏感组合物和基于它的可成象元件.pdf

放大字体  缩小字体 发布日期:2011-06-02  浏览次数:460
核心提示:含噁唑衍生物的射线敏感组合物和基于它的可成象元件.pdf
一种射线敏感元件,它包含(a)一种或多种单体,各自包含至少一种可参与自由基聚合的烯属不饱和基团,(b)至少一种增感剂,(c)至少一种能与增感剂(b)一起形成自由基的助引发剂,选自下列化合物类别:金属茂;具有1~3个CX3基团的1,3,5-三嗪衍生物,其中X代表氯或溴;过氧化物;六芳基双咪唑;肟醚;肟酯;N-芳基甘氨酸及其衍生物;硫醇化合物;N-芳基、S-芳基和O-芳基多羧酸,具有至少两个羧基基团,其中至少一个键合在芳基单元的N、S或O原子上;烷基三芳基硼酸酯;苯偶姻醚;苯偶姻酯;三卤代甲基-芳基砜;胺;N,N-二烷基氨基苯甲酸酯;芳基磺酰卤;三卤代甲基砜;酰亚胺;重氮磺酸盐;9,10-二氢蒽衍生物;α-羟基和α-氨基乙酰苯;和(d)任选地一种或多种组分,选自碱溶性粘合剂、着色剂、曝光指示剂、增塑剂、链转移剂、隐色染料、表面活性剂、无机填料和热聚合抑制剂,特征在于,至少一种增感剂是通式(I)的噁唑衍生物,其中每个R1、R2和R3独立地选自卤素原子、任选取代的烷基基团、任选取代的芳基基团,后者也可以稠合,任选取代的芳烷基基团、基团-NR4R5和基团-OR6,其中R4和R5独立地选自氢原子、烷基、芳基或芳烷基基团,R6是烷基、芳基或芳烷基基团或氢原子,且k、m和n独立地是0或1~5的整数。

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