本发明提供一种可以形成良好的厚膜抗蚀图形、且起泡少的显影液组合物。该显影液组合物，其是用于在支承体上形成厚膜抗蚀图形的显影液组合物，其中，含有作为主剂的有机季铵盐基、用下述通式(I)表示的阴离子型表面活性剂、和从硅酮系消泡剂、醇系消泡剂及非离子表面活性剂系消泡剂中选择的消泡剂。 (I)式中的R1是碳数为5～18的烷基或烷氧基，a是1或2；R2、 R3是独立的磺酸铵基、磺酸取代铵基或下述通式(II)表示的基团，b是 0或1～3的整数；c是1～3的整数。 (II)式中M是金属原子。
发布日期：2008-06-25 浏览次数：446
本发明提供一种可以形成良好的厚膜抗蚀图形、且起泡少的显影液组合物。该显影液组合物，其是用于在支承体上形成厚膜抗蚀图形的显影液组合物，其中，含有作为主剂的有机季铵盐基、用下述通式(I)表示的阴离子型表面活性剂、和从硅酮系消泡剂、醇系消泡剂及非离子表面活性剂系消泡剂中选择的消泡剂。 (I)式中的R1是碳数为5～18的烷基或烷氧基，a是1或2；R2、 R3是独立的磺酸铵基、磺酸取代铵基或下述通式(II)表示的基团，b是 0或1～3的整数；c是1～3的整数。 (II)式中M是金属原子。
豫公网安备41010502006654号
