<文摘>本发明提供一种能使液晶玻璃基板循环再利用、对于液晶玻璃
基板进行化学抛光的方法及化学抛光装置。所使用的化学抛光
液由氢氟酸及其盐的混合液（其中的氢氟酸盐为氟化铵、氟化
钾和氟化钠中的任一种或者多种），盐酸、硫酸、磷酸和硝酸
等无机酸的一种或多种，醋酸和琥珀酸等有机酸的一种或者其
混合物，磺酸盐类阴离子表面活性剂以及胺类两性表面活性剂
组成。
