一种用于图案形成方法中的水溶性树脂组合物，所述方法涉及涂敷涂层到由ArF响应的辐射敏感树脂组合物形成的抗蚀图上并增大所述抗蚀图宽度以获得有效小型化的沟槽图案和孔图案，其中，抗蚀图层的尺度收缩程度比现有技术有提高，并且，其中粗/密抗蚀图对尺度收缩的依赖性减小；和一种使用所述水溶性树脂组合物形成图案的方法。提供了一种用于上述图案形成方法中的水溶性树脂组合物，可适用于ArF受激准分子激光辐射，含有水溶性树脂、当被加热时能产生酸的发生剂、表面活性剂、交联剂和含水溶剂。还提供一种使用所述水溶性树脂组合物形成图案的方法。
